某半导体技术厂在加工具体步骤中运用硝酸银系成像液,行成高氧浓度含NOx废渣,日处里量50吨。废渣中含NO2-自由高达2000mg/L,且富含轻微有机酸光刻胶物质,处里困难最大。
2. 污废水 化学物质及起源
成像工艺残液(最主要的影响源)
晶圆清洁废污水
工业废气洗條塔排水性
3. 进行处理施工工艺方案
通过"高级工程师空气氧化+有级生物学除理"科技创新艺:
三氧腐蚀
:顺利通过臭氧的危害的引发器引发O3,将难可降解无机物转化为小原子核元素,互相将NO2-氧化的为NO3-。
生物学膜现象器(MBR)
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第二级:缺氧的症状场景下污泥脱水甲醇作碳源,促使反水解酸化反應
第一级:好氧生物制品膜进一个步骤吸附生物碳物
电检查是否淬硬层整理
:用到钛基铝层探针,进行钛电极效用撤底转换的残留物弄脏物。
4. 然后特效
NOx总氮降落到8mg/L下面的
COD稳固在30mg/L范围之内
化工废水回收利用率达60%
系统化运转耗能把控好在3.5kWh/吨水,较传统文化生产工艺能效20%。